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Z轴测量显微镜|现货|价格|参数|产品详情

产品名称: Z轴测量显微镜|现货|价格|参数|产品详情
产品型号: E30-CW2010-Z
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

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Z轴测量显微镜|现货|价格|参数|产品详情  的详细介绍


产品名称:Z轴测量显微镜|现货|价格|参数|产品详情

产品货号:E30-CW2010-Z
 

特点: 以影像法为测量原理, 采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场,微分干涉,偏光的观察功能。所以对极细微的间隙高低差,夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察。
产品用途:适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS篷房激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构,几何形状进行显微观测。并且有三维的计量功能,其解析率达0.0005mm。因此是精密零件,集成电路,半导体芯片,光伏电池,光学材料等行业的必用仪器。
主要规格:
    2.1  镜筒:铰链式三目头部   30°倾斜   270°旋转
    2.2  高眼点平场目镜: WF10X/22
    2.3  超长物距平场物镜:PLL5X/0.12  WD 26.1, PLL10X/0.25 WD 20.2, PLL20X/0.40  WD 8.80, PLL50X/0.7  WD 3.68。
    2.4  右倾式内定位5孔转换器
    2.5  落射式照明系统: 卤素灯12V30W, 内置孔径光阑,五孔转盘滤色装置(黄、绿、蓝、磨砂)推拉式检偏器和起偏器。
    2.6  调焦结构:粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置  粗动升降范围30mm  微动格值  0.001mm*100格  数显解析值 0.0005mm。
    2.7  光源:卤素灯 亮度可调  6V30W(BD:12V50W)
    2.8  普通透射照明:可选
    2.9  Z轴升降范围:手轮转动130mm  允许*高工件 130mm
    X轴移动范围  200mm  解析率:0.001mm  可解锁手动快进
    Y 轴移动范围  100mm  解析率:0.001mm  可解锁手动快进
    测量精度(3+L/100)mm  (L: 被测长度)
    落射光测量误差≤0.08% 
   3.0工作台尺寸: 360mm*250mm   玻璃板尺寸: 225mm *175mm   工作台承重: 30kg 
     3.1 仪器外型尺寸:380mm*550mm*830mm 
     3.2 净重:100kg  毛重:120kg 

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